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林本堅 企業家院士第一人

1 本屆新科院士中誕生首位「企業家院士」─台積電副總林本堅(劉宗龍攝)。 本屆新科院士中誕生首位「企業家院士」─台積電副總林本堅(見圖,劉宗龍攝)。中研院院長翁啟惠指出,林本堅成為業界當選中研院院士第一人,這代表台灣業界研究,也可以達到世界領先的地步。林本堅今年72歲,獲獎無數,曾獲10次美國IBM傑出發明獎、美國IBM傑出貢獻獎、2008年當選美國國家工程學院院士,去年也獲選為工研院院士,更因浸潤式微影技術的創新,獲頒2013年國際電機電子工程師學會(IEEE)西澤潤一金牌獎。翁啟惠表示,林本堅是光學微影技術的先驅者,將半導體製程再往前推進,幫助台積電在世界居於領先地位。他認為,誕生首位業界的中研院院士,顯示業界研發能量領先全球,對台灣產業創新有相當大的幫助。林本堅出生於越南,在離西貢不遠的堤岸市長大,祖父是船商、父親是當地英文中學校長,他在越南接受華僑教育,高三那年獨自來台就讀新竹中學,隔年考上台灣大學電機系,從此與電磁波學結緣,後來更赴美求學,在美國俄亥俄州立大學電機工程完成博士學位。林本堅在奈米影像技術上,有兩次重大的突破,一次在2002年以浸潤式微影技術衝破65奈米的撞牆期,另一次是讓微影技術從28奈米的極限位置,成功闖入20奈米,現在台積電能攻入10奈米製程,也是靠著林本堅帶領團隊突破半導體微影技術限制,挑戰第三次「big through」。林本堅表示,未來將加速產學合作。

新聞來源http://www.chinatimes.com/newspapers/20140705000358-260102

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